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特點

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  設(shè)備參數(shù)
  - 設(shè)備尺寸：1330mm X 1230mm X 1700mm
  - 設(shè)備重量：約 1噸
  - 電壓：3相220V 60Hz 10KVA
  - 壓縮空氣：超過6kg 
  
  
  
  				

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  硬件
  - 含有激光位移傳感器，CCD攝像頭和LED環(huán)形照明的測頭設(shè)計
  - 通過采用可提供寬焦距的遠(yuǎn)心鏡頭來最大程度地減少節(jié)拍時間
  - 晶圓載板門自動開合系統(tǒng)
  - 通過旋轉(zhuǎn)工作臺可以在各個方向進(jìn)行測量
  - 提供設(shè)備檢查校具以檢查設(shè)備誤差
  - 定制的硬件/ UI軟件