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ELA : Excimer Laser Annealing，即準分子激光退火。是高端面板制造不可或缺的關鍵設備?？梢詫@示屏玻璃基板的非晶硅材料（a-Si）轉化為低溫多晶硅材料（LTPS）。從而大大提高電子的遷移率。

本次交付的設備，為湖北地區(qū)第三臺ELA設備，該設備將主要應用于顯示面板的研發(fā)。德仁的工程師也將常駐湖北，助力該企業(yè)的技術研發(fā)。

ELA主體 chamber搬入

激光器搬入

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