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特點

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  設(shè)備參數(shù)
  - 大理石平臺尺寸：9000mm X 3000mm X 500mm
  - 振動抑制性??能：3Hz時95％的振動抑制
  - 移動桿角度精度：4” 以內(nèi)
  - 通過使用激光進行移動柱位置控制來提高位置精度
  - 主鏡平面圖：λ/ 4或更?。ǚ宓椒澹?
  - 主鏡角度精度：2”以內(nèi)
  - Pitch , Yaw , Roll  2” 以內(nèi) 
  				

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  硬件
  - 使用4個經(jīng)緯儀對測量對象進行垂直，水平角度和排序的測量
  - 使用夾具將測量對象固定在大理石平臺上
  - 在大理石平臺底部安裝振動抑制系統(tǒng)，以最大程度地減少環(huán)境的影響
  - 利用設(shè)置在相反兩個角落的主鏡進行經(jīng)緯儀校準